南科14B廠晶圓瑕疵事件 台積電:會求償

台積電爆發因光阻原料不符規格,

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,造成晶圓14B廠的12奈米及16奈米晶圓良率偏低須報廢事件,

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,估計影響首季營收減少5.5億美元。台積電說,

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,會向供應商求償。自由時報報導,

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,陶氏化學(Dow Chemical)是這次供應不符規格光阻原料的廠商,

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,台積電將向陶氏化學索賠新台幣40億元。 台積電不評論報導內容,

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,表示供應商這次未檢測出光阻液中會產生異質聚合物,

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,造成台積電損失,應負責任,會跟供應商談。只是台積電指出,不會揭露供應商名稱,也不會透露相關細節。,

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