漢微科執行長招允佳昨(19)日強調,
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,面對全球半導體設備龍頭應材與光學檢測大廠科磊(KLA-Tencor)兩大廠強勢競爭,
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,漢微科仍在有利位置,
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,有信心在電子束檢測市場,
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,維持領先優勢。他舉例,
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,科磊的主力產品是光學掃描,
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,應用在10奈米的量產線上,
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,速度雖比漢微科的電子束檢測設備快,但光學掃描只是把可能疑似有缺陷晶圓掃出,最後還是得透過其他設備複檢,時間並不見得比電子束檢測設備來得精準且有效率。,