創新平台/優化磊晶製程 有請虛擬老師傅

近幾年,

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,國內LED產值扶搖直上,

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,根據國內市調機構IEK資料預估,

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,2015年台灣LED產業產值約新台幣1,

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,194億元,

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,高居全球前三名。除了整體產能大幅提升,

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,LED磊晶良率逐年升高也功不可沒。LED磊晶製程相當繁複,

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,氣體組成和流量、壓力、基板溫度和轉速等參數會交互影響,

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,往往需要花很長的時間來設定及調整參數。 工研院/提供 分享 facebook twitter pinterest 事實上,

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,LED磊晶製程難度不低,靠的是一群經驗豐富的工程師,逐一調校每次磊晶的參數,包括溫度、壓力、流量和轉速,每組參數需要耗費6~8小時調校,找出最佳化製程參數往往耗費長達一周。這樣的過程讓磊晶製程面臨兩大問題,一是製程須仰賴具有多年磊晶經驗的工程師判斷參數設定,因此「人」成為良率高低的關鍵所在,萬一面臨人員流動,又必須重新與機台磨合參數。另一大問題就是調校參數時程過長,影響生產流程效率。工研院LED研發團隊在拜訪多家國內LED相關業者後發現,磊晶製程參數是上游業者普遍面臨的困境,因而著手研發「磊晶製程參數優化系統」,結合大數據以及生產力4.0虛實整合的技術,讓磊晶製程就像有個經驗超級豐富的「老師傅」在下指導棋,不用2小時就可以找出最佳化參數,加快產品上市時間,搶得市場先機!不只是上市時間加快,磊晶製程參數優化系統可增加5%到7%的產能,並獲得準確度92%以上的鍍膜速率與均勻性預測;研發新結構的成本也可減少60%到70%,建構快速彈性的新產品研發優勢。「我們發現國內LED業者花很多時間在尋找最佳化磊晶製程參數,無法有效率建立數位化巨資資料庫,進而激發靈感,這會是我們能夠著墨發揮的點。」工研院機械所研發副組長王慶鈞說。台灣光電半導體產業協會副秘書長,同時也是工研院電光系統所組長朱慕道表示:「我們將實驗參數導入巨量資料庫,透過相關參數的優化,節省製程開發驗證的時間。透過知識系統的建立,也能縮短相關人才的養成時間。」藉由經濟部技術處科技專案支持,工研院團隊和學校教授研究如何建立磊晶反應機制;經過一年多的淬煉,到2014年,團隊已將準確率提升到92%,並且完成第一代系統,成功導入產業應用。面對LED產業看似危機又是轉機的關鍵點,工研院以自家技術含量強化國內LED廠的磊晶製程,穩固台灣LED市場地位。「透過磊晶製程調控虛實整合系統,我們希望能整合軟硬體資源,結合使用者和製造業者,讓台灣能進一步自主掌握製程和設備。」王慶鈞強調:「台灣LED製造業界所使用的設備都由國外進口,新產品及技術的開發方向很容易提前曝光,形成競爭劣勢,因此設備國產化是非常重要的。」工研院研發團隊透過相關領域的合作,逐步從軟體參數、硬體改善朝向虛實整合發展,並積極與產業界合作,期望能針對台灣LED、太陽能及面板產業的需求開發相關半導體設備,協助業界打造更強大的競爭力。,

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