漢微科董事長許金榮。 （聯合報系資料庫） 分享 facebook twitter pinterest 強敵壓境，
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，美商應材電子束檢測設備正式出貨給晶圓代工廠，
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，與股后漢微科（3658）短兵相接。應材台灣區總裁余定陸證實切入這塊領域，
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，且成本和檢測速度優於競爭對手，
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，有信心獲得客戶肯定。余定陸昨（21）日在應材年終媒體餐敘上，
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，證實應材Pro-Vision電子束檢測設備已出貨國內外晶圓代工客戶，
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，但礙於保密協定，
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，不針對客戶名稱及出貨機台做出評論。余定陸表示，應材一直都有電子束技術，但過去未應用在晶圓檢測，僅應用於其他量測領域，但目前已開發出設備，並有專責單位將電子束檢測設備導入客戶。他強調，電子束檢測過去因比光學慢，較少廠商著墨，但隨著邏輯晶片和記憶體步進入更先進製程，有些晶圓缺陷需要電子束檢測設備會更精準。他說，應材的電子束檢測設備已正式出貨，包括國內外客戶，但純粹是因應客戶有這方面的需求，不是要打壓台灣半導體設備廠。余定陸對今年半導體景氣看法樂觀，他認為，今年半導體晶圓廠設備支出有機會比去年提升，主要亮點是3D儲存型快閃記憶體（NAND Flash），主要記憶體廠持續擴充3D NAND Flash產能，在相關半導體設備的投資會優於去年。在晶圓代工方面，今年主要晶圓代工廠資本支出也會增加，預估有50%集中在10奈米FinFET（鰭式場效電晶體）。去年大概是晶圓代工支出的谷底，今年整體支出會優於去年，但預估會集中在下半年，對半導體設備廠而言，下半年營運會優於上半年。漢微科稍早法說會，針對應材切入這塊市場時指出，應材是切入不同應用。但應材卻強調會搶攻漢微科主攻的電子晶圓缺陷檢測市場，且成本和檢測速度都優於漢微科，受到市場關注。，